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离子注入机

lí zi zhù rù jī

ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄓㄨˋ ㄖㄨˋ ㄐㄧ

「离子注入机」是什么意思?

更新 2026-07-10 16:13:39

扩展释义

离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。

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