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聚焦离子束
jù jiāo lí zi shù
ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ
「聚焦离子束」是什么意思？
更新 2026-07-19 07:01:57
- 拼音字母ju jiao li zi shu
- 首字母jjlzs
- 注音符号ㄐㄩ ㄐㄧㄠ ㄌㄧ ㄗ ㄕㄨ
扩展释义
FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)是将离子源(大多数FIB都用Ga，也有设备具有He和Ne离子源)产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面。作用：1.产生二次电子信号取得电子像.此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似2.用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。3.通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属，氧化硅层或沉积金属层。
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